低溫等離子廢氣處理是一種利用等離子體技術處理廢氣的工藝。其主要工作原理如下：

　　1、氣體進入反應室：廢氣首先通過管道進入反應室，在進入反應室之前可能需要進行預處理，例如除塵、除濕等。

　　2、產生等離子體：在反應室內，通過電極產生高電壓電場，使得氣體分子發生電離和激發，形成等離子體。等離子體是由帶正電荷的離子和帶負電荷的電子組成的高能粒子云。

　　3、氧化反應：等離子體中的帶正電荷的離子和帶負電荷的電子與廢氣中的有機物、無機物等發生碰撞，引發氧化反應。這些反應會將廢氣中的有害物質轉化為無害的水和二氧化碳等。

　　4、脫除廢氣：經過氧化反應后，廢氣中的有害物質被轉化為無害的物質，然后經過排氣管道排出系統。

　　5、輔助處理：在實際應用中，可能需要輔助處理一些特定的廢氣成分。例如，通過添加催化劑、吸附劑等物質，可以進一步提高廢氣處理效率。

　　低溫等離子廢氣處理的主要特點是操作溫度相對較低(一般為室溫至幾百攝氏度)，相比傳統的高溫等離子體處理方法具有能耗低、處理效率高、設備結構簡單等優勢。因而被廣泛應用于廢氣處理、空氣凈化、有機廢氣回收等行業領域。